| 摘要 |
<p>(해결수단) 기판(12) 상의 소정 위치에 미리 형성된 복수의 기준 마크(12a)를 카메라(26)에 의해 검출하여 그 기준 마크(12a)의 위치를 나타내는 검출 위치 정보를 검출 위치 정보 취득 수단(52)에 의해 취득하고, 그 취득한 검출 위치 정보에 기초하여 노광 헤드(30)의 각 마이크로 미러(38)의 기판(12) 상에 있어서의 실제의 노광 궤적을 나타내는 노광 궤적 정보를 노광 궤적 정보 취득 수단(54)에 의해 취득하고, 노광점 데이터 취득 수단(56)에 있어서 각 마이크로 미러(38)마다의 노광 궤적 정보에 대응한 노광점 데이터를 노광 화상 데이터로부터 취득하고, 그 취득한 노광점 데이터에 기초하여 노광 헤드(30)에 의해 기판(12)을 노광한다.</p> |
