一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统

摘要

本发明公开了一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统，包括安全充气阀、过滤罐盖、过滤罐体、蜂窝状超细纤维纸、铝合金内筒、进气口和出气口，所述过滤罐体上设有可开启式过滤罐盖，过滤罐盖上设有安全充气阀，过滤罐体内设有铝合金内筒，所述蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上，过滤罐体的下面设有出气口，过滤罐体的侧面设有进气口。本发明采用蜂窝状的超细纤维纸做为过滤介质，能够过滤更细小的杂质，同时蜂窝状的结构，使其过气面积大大增加，提高了过气效率。对于过滤更多更小的杂质，减少真空泵油的用量，延长真空泵的使用寿命，提高单晶炉内真空度，具有十分重要的意义。

主权项

一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统，其特征在于：包括安全充气阀、过滤罐盖、过滤罐体、蜂窝状超细纤维纸、铝合金内筒、进气口和出气口，所述过滤罐体上设有可开启式过滤罐盖，过滤罐盖上设有安全充气阀，过滤罐体内设有铝合金内筒，所述蜂窝状超细纤维纸固定在铝合金内筒上，过滤罐体的下面设有出气口，过滤罐体的侧面设有进气口。