一种换向倒极装置

摘要

本发明涉及在晶片上涂敷化学药剂的换向设备，具体地说一种两个单元液体供给共用一个液泵的换向倒极装置，包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴及电机，位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴，该中间轴相对转动地安装在壳体内，中间轴的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；电机安装在壳体的底部，电机的输出端与中间轴的底端相连，中间轴由电机驱动的转动副通过中间轴与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。本发明可以使离心单元所配的液泵发挥最大效能，实现了两个离心单元共用一个液泵，化学药剂一进两出。

主权项

一种换向倒极装置，其特征在于：包括壳体、位于壳体四角上的接口、中间轴(5)及电机(8)，其中位于壳体四角上的四个接口、两相邻的接口之间通过胶路相连通，在四个接口中间设有中间轴(5)，该中间轴(5)相对转动地安装在壳体内，所述中间轴(5)的两端分别螺纹连接有支板，每个支板的两端均设有控制相邻接口之间胶路开合的密封胶垫；所述电机(8)安装在壳体的底部，电机(8)的输出端与所述中间轴(5)的底端相连，中间轴(5)由电机(8)驱动的转动副通过中间轴(5)与支板的螺纹连接转换成支板的上下移动副。