| 发明名称 |
USE OF AN ETCHING SOLUTION, CONTAINING HYDROFLUORIC ACID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1203404(B1) |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
| 申请号 |
EP20000956166 |
申请日期 |
2000.07.05 |
| 申请人 |
BASF SE |
发明人 |
WIEGAND, CLAUDIA;RHEIN, RUDOLF;TEMPEL, EBERHARD |
| 分类号 |
C09K13/08;H01L21/311;H01L21/308 |
主分类号 |
C09K13/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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