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发明名称
摘要
申请公布号	JP5195420(B2)	申请公布日期	2013.05.08
申请号	JP20080507442	申请日期	2007.03.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/336;C07F7/08;C07F7/30;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
主权项
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