一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜

摘要

一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜，属于极紫外光刻领域，该新型多层膜为在基底上依次镀制Si层和Mo层交替的周期性多层膜，还包括热稳定层，所述热稳定层制作在Si层和Mo层交替的周期性多层膜上；本发明通过在Si层和Mo层交替的周期性多层膜上镀制Si3N4热稳定层可以在不改变膜系的外形、不增加光学元件、不改变光线的辐射方向、也不增加额外的加工步骤的前提下，既保证极紫外波段的反射率损耗可忽略又使带外波段的反射率得到有效抑制，同时使多层膜的热稳定性得到提高。

主权项

一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜，该多层膜为在基底（1）上依次镀制Si层（2）和Mo层（3）交替的周期性多层膜，其特征是，还包括热稳定层（4）；所述热稳定层（4）制作在Si层（2）和Mo层（3）交替的周期性多层膜上。