发明名称 |
一种引线框架再布线的FCAAQFN封装件及其制作工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种引线框架再布线的FCAAQFN封装件及其制作工艺,所述封装件包括有铜引线框架、助焊剂、芯片、芯片的锡球、塑封体、光致抗蚀涂覆材料、钝化材料、电镀铜、锡球;该制作工艺按照以下步骤进行:晶圆减薄、晶圆划片、倒装上芯、回流、清洗、塑封、后固化、框架研磨、涂光刻胶和显影图案、框架蚀刻、钝化层和显影图案、金属镀铜、二次涂光刻胶和显影图案、二次蚀刻、二次钝化层和显影图案、植球。本发明省去了键合焊线,缩短了电流和信号传输距离,提高了电性能和产品可靠性。 |
申请公布号 |
CN103094241A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201210542561.5 |
申请日期 |
2012.12.15 |
申请人 |
华天科技(西安)有限公司 |
发明人 |
徐召明;谌世广;王虎;马利;谢天禹 |
分类号 |
H01L23/495(2006.01)I;H01L23/49(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/495(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种引线框架再布线的FCAAQFN封装件,其特征在于:其包括有铜引线框架(1)、助焊剂(3)、芯片(4)、芯片(4)的锡球(5)、塑封体(8)、光致抗蚀涂覆材料(10)、钝化材料(12)、电镀铜(14)、锡球(18);所述的铜引线框架(1)首先进行蚀刻,所述的带有锡球(5)的芯片(4)蘸有助焊剂(3)后,粘接到蚀刻后的铜引线框架(2)上,倒装上芯后进行回流,然后用塑封体(8)塑封后固化,将塑封好的铜框架研磨,将光致抗蚀涂覆材料(10)涂在铜框架上,对铜框架进行蚀刻,分离引脚并清洗,接着,用钝化材料(12)填充框架蚀刻槽,对钝化材料(12)的表面进行化学镀铜(13),进行铜离子电镀产生电镀铜层(14),接着是在电镀后的铜表面进行二次蚀刻,再用钝化材料(12)填充蚀刻槽,最后植入锡球(18)。 |
地址 |
710018 陕西省西安市经济技术开发区凤城五路105号 |