| 主权项 |
一种用于光刻机的楔形板组的胶合方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：①建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20～26℃±0.1℃，湿度为50～70%标准大气压下超净工作台上进行胶合工作；②在超净工作台，工作人员带上防静电手套和口罩,对待用的镀膜楔形板用Zygo VeriFire非球面干涉仪上进行测量，对符合要求的镀膜楔形板用防静电光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭,在擦拭过程中把楔形板放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；③从所述的玻璃器皿中取出一块楔形板称为第一楔形板（1）置于楔板胶合夹具上，使第一楔形板的两边靠贴所述的楔板胶合夹具上的楔板基准靠边（5），确保胶合面（3）朝上并成水平，然后采用点胶机并在气压为0.1～0.2Mpa，控制时间在1.5～3.5s对胶合区域进行控胶量点胶，从所述的玻璃器皿中取出一块楔形板称为第二楔形板（2），再将第二楔形板（2）的胶合面轻轻地放置在第一楔形板的胶合面上，在两基准靠边的对面给所述的楔形板施加一定力，构成楔板组；④打开紫外光源，用双光纤或者单光纤对胶点进行20～50s曝光，等待5～10分钟，获得半固化胶合楔板组； ⑤初步固化测量：将所述的楔板组连同楔板胶合夹具一起拿到Zygo VeriFire非球面干涉仪上进行测量，检查楔板组的正面面形，当面形符合设计要求时，进入步骤⑥；当面形不符合设计要求时，进入步骤⑦；⑥卸下基准边靠边对面的施力，等待5分钟后，翻转所述的楔板组，再利用Zygo VeriFire非球面干涉仪进行反面面形测量，当反面面形不符合设计要求时，进入步骤⑦；当反面面形符合要求时，楔板组初步固化合格，则进入步骤⑧; ⑦将所述的楔板组卸离所述的楔板胶合夹具后，用二氯甲烷或者酒精浸泡所述的楔板组，拆卸所述的半固化胶合楔板组，进入步骤②；⑧最终固化测量：用所述的紫外光源，对初步固化合格的楔板组再照射两次，每次120秒，间隔为3～5分钟，将楔板组连同楔形板基座放在恒温箱内，经22～26小时后再次进行测量，当测量面形不符合设计要求时，则进入步骤⑨，当测量面形符合设计要求时，楔板组最终固化胶合成功，称为胶合好的楔板组，进入步骤⑩；⑨采用现有的工艺拆分楔板组，进入步骤②；⑩对胶合好的楔板组进行包装，将包装好的楔板组放在恒温箱内五天以上，让其完全固化，完全固化后待用。 |
