发明名称 | 一种压力传感器芯体 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种压力传感器芯体,包括圆柱状的壳体,在所述壳体的上端设置有水平凹槽,所述水平凹槽内焊接有SOI芯片。该芯体采用SOI芯片与壳体结合的方式,其结构简单,容易加工,且能够保证加工及测量精度。 | ||
申请公布号 | CN202928730U | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
申请号 | CN201220617534.5 | 申请日期 | 2012.11.19 |
申请人 | 西安微纳传感器研究所有限公司 | 发明人 | 袁晓斌;陈龙;张妮妮;刘秀娥 |
分类号 | G01L1/16(2006.01)I;G01L9/08(2006.01)I;G01L19/14(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/16(2006.01)I |
代理机构 | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人 | 申美鹃 |
主权项 | 一种压力传感器芯体,其特征在于,包括圆柱状的壳体(1),在所述壳体(1)的上端设置有水平凹槽(4),所述水平凹槽(4)内焊接有SOI芯片(2)。 | ||
地址 | 710054 陕西省西安市雁塔区雁翔路99号交大科技园B区37号维纳大厦二层 |