发明名称 一种压力传感器芯体
摘要 本实用新型涉及一种压力传感器芯体,包括圆柱状的壳体,在所述壳体的上端设置有水平凹槽,所述水平凹槽内焊接有SOI芯片。该芯体采用SOI芯片与壳体结合的方式,其结构简单,容易加工,且能够保证加工及测量精度。
申请公布号 CN202928730U 申请公布日期 2013.05.08
申请号 CN201220617534.5 申请日期 2012.11.19
申请人 西安微纳传感器研究所有限公司 发明人 袁晓斌;陈龙;张妮妮;刘秀娥
分类号 G01L1/16(2006.01)I;G01L9/08(2006.01)I;G01L19/14(2006.01)I 主分类号 G01L1/16(2006.01)I
代理机构 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 代理人 申美鹃
主权项 一种压力传感器芯体,其特征在于,包括圆柱状的壳体(1),在所述壳体(1)的上端设置有水平凹槽(4),所述水平凹槽(4)内焊接有SOI芯片(2)。
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