| 发明名称 | 用于有机抗反射涂层的组合物及共聚物 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种有机抗反射涂层组合物，其包括由下列化学式1所代表的共聚物、光吸收剂、热酸生成剂和固化剂。[化学式1]<img file="D2008101804349A00011.GIF" wi="962" he="518" />其中R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>彼此互相独立；R<sub>1</sub>表示氢原子或具有1到10个碳原子的烷基；R<sub>2</sub>表示氢原子或具有1到10个碳原子的烷基或具有1到20个碳原子的芳基烷基；R<sub>3</sub>是氢原子或甲基；m和n是主链上的重复单元，m+n＝1且其具有0.05<m/(m+n)<0.95和0.05<n/(m+n)<0.95的值。使用本发明聚合物的上述抗反射涂层显示了优良的粘结性、存储稳定性和很高的干蚀刻率，且在C/H型和L/S型中具有杰出的分解性。 | ||
| 申请公布号 | CN101560279B | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
| 申请号 | CN200810180434.9 | 申请日期 | 2008.11.27 |
| 申请人 | 韩国锦湖石油化学株式会社 | 发明人 | 金铭雄;朴柱铉;林永泽;金亨基;李俊昊;李钟敦;赵承德 |
| 分类号 | C08F222/06(2006.01)I;C08F8/14(2006.01)I;C08F220/14(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C09D135/00(2006.01)I;C09D133/10(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | C08F222/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 陈英俊;李瑞海 |
| 主权项 | 1.一种由下列化学式1所代表的共聚物：[化学式1]<img file="FDA00002379577800011.GIF" wi="858" he="468" />其中，R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>彼此互相独立；R<sub>1</sub>表示氢原子或含有1到10个碳原子的烷基；R<sub>2</sub>表示氢原子、含有1到10个碳原子的烷基或含有1到20个碳原子的芳基烷基；R<sub>3</sub>是氢原子或甲基；m和n是主链上的重复单元，m+n=1且其具有0.05<m/(m+n)<0.95和0.05<n/(m+n)<0.95的值。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||