测量装置

摘要

本发明提供一种具有照射线状光的出射光学系统和获得从被测量物反射的线状反射光的摄像元件并根据所获得的线状反射光在被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状的测量装置，具备：多个成像光学系统，设置在被测量物与摄像元件之间，使线状反射光成像于摄像元件的受光面上以获得线状光在被测量物上的形状；光束分束机构，设置在被测量物与各成像光学系统之间，将线状反射光分束并导向关于被测量物的测量对象的光学设定彼此不同的各成像光学系统。摄像元件在受光面上设定有被划分为多个区域的多个片段，各个片段的至少一个或更多的区域用作受光区域，各成像光学系统使被分束的线状反射光成像于受光面上彼此不同的片段的受光区域上。

主权项

一种测量装置，具有：出射光学系统，所述出射光学系统将线状光照射到被测量物上；和摄像元件，所述摄像元件获得从所述被测量物反射的线状反射光，所述测量装置根据由所述摄像元件获得的所述线状反射光在所述被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状，所述测量装置的特征在于具备：多个成像光学系统，所述多个成像光学系统被设置在所述被测量物与所述摄像元件之间，并使所述线状反射光成像于所述摄像元件的受光面上以获得所述线状光在所述被测量物上的形状；和光束分束机构，所述光束分束机构被设置在所述被测量物与所述多个成像光学系统的每个之间，将所述线状反射光分束并导向所述多个成像光学系统的每个，其中，在所述多个成像光学系统的每个中，关于所述被测量物的测量对象的光学设定彼此不同，在所述摄像元件中，在受光面上设定有多个片段且各个所述片段被划分为多个区域，并将各个所述片段中的至少一个或更多的区域作为受光区域，所述多个成像光学系统的每个使由所述光束分束机构分束的所述线状反射光成像于所述摄像元件的所述受光面上的彼此不同的所述片段的所述受光区域上，所述多个成像光学系统的每个中关于所述被测量物的所述测量对象的光学设定是所述被测量物上的在高度方向上的可测量范围或所述被测量物上的在所述线状光的延伸方向上的测量范围。