| 摘要 |
<p>본 발명은 드라이필름 포토레지스트에 관한 것으로, 구체적으로 본 발명에 따른 드라이필름 포토레지스트는 지지체 필름을 제거한 상태로 노광공정이 실시가능하여, 지지체 필름에 의한 노광 효과의 악영향을 방지함으로써 해상도를 향상시킬 수 있다. 특히, 지지체 필름과 수지 보호층을 적정 수준으로 접착시키면서 지지체 필름을 제거할 때 수지 보호층의 손상을 주지 않아 헤이즈의 저하를 방지할 수 있고, 현상시간의 저하도 발생하지 않아 고해상도를 달성할 수 있다.</p> |
