发明名称
摘要
申请公布号 JP5192661(B2) 申请公布日期 2013.05.08
申请号 JP20060148566 申请日期 2006.05.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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