发明名称 | 用于提取HBT器件中基区寄生电阻的方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于提取HBT器件中基区寄生电阻的方法,包括以下步骤:第一步,采用截面为矩形环状发射极多晶硅,通过矩形环状发射极多晶硅的屏蔽,形成锗硅多晶硅的连接电阻;使矩形环状发射极多晶硅的条宽、长度取不同的数值,得出一组线性变化值,通过对器件模型上的拟合推出精确的阻值;第二步,在矩形环状发射极多晶硅上开矩形环状发射区窗口,形成锗硅多晶硅的基区窗口电阻;使矩形环状发射区窗口的条宽、长度取不同的数值,得出一组线性变化值,通过对器件模型上的拟合推出精确的阻值。本发明能够精确地提取HBT器件中基区的SiGe Poly寄生电阻,有效地提高器件模型的准确度,为系统级仿真提供更好的指导。 | ||
申请公布号 | CN103093018A | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
申请号 | CN201110346435.8 | 申请日期 | 2011.11.04 |
申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 苗彬彬;朱丽霞;金锋 |
分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I |
代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 张骥 |
主权项 | 一种用于提取HBT器件中基区寄生电阻的方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,采用截面为矩形环状发射极多晶硅,通过矩形环状发射极多晶硅的屏蔽,形成锗硅多晶硅的连接电阻;使矩形环状发射极多晶硅的条宽、长度取不同的数值,得出一组线性变化值,通过对器件模型上的拟合推出精确的阻值;第二步,在矩形环状发射极多晶硅上开矩形环状发射区窗口,形成锗硅多晶硅的基区窗口电阻;使矩形环状发射区窗口的条宽、长度取不同的数值,得出一组线性变化值,通过对器件模型上的拟合推出精确的阻值。 | ||
地址 | 201206 上海市浦东新区川桥路1188号 |