一种兼容高低温测试的探针卡

摘要

本发明涉及一种兼容高低温测试的探针卡，包括基板、底座以及探针，所述底座固定于所述基板上，所述探针固定于所述底座上，所述探针的一端与基板上的电路相连通，另一端与晶圆相接触，所述基板上还设有冷却装置，所述冷却装置包括壳体，所述壳体上设有进气口和出气口，所述进气口连接至冷气源，所述出气口与所述底座和探针的位置相对应。本发明在基板上设置一冷却装置，当进行高温测试时，从所述进气口通入冷气，对所述底座以及探针进行降温；当进行低温测试时，关闭冷气源，正常测试，实现高低温测试的兼容，确保晶圆测试顺利进行。

主权项

一种兼容高低温测试的探针卡，包括基板、底座以及探针，所述底座固定于所述基板上，所述探针固定于所述底座上，所述探针的一端与基板上的电路相连通，另一端与晶圆相接触，其特征在于，所述基板上还设有冷却装置，所述冷却装置包括壳体，所述壳体上设有进气口和出气口，所述进气口连接至冷气源，所述出气口与所述底座和探针的位置相对应。