| 发明名称 |
Silicon substrate and manufacturing method thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2096667(B1) |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
| 申请号 |
EP20090002652 |
申请日期 |
2009.02.25 |
| 申请人 |
SUMCO CORPORATION |
发明人 |
KURITA, KAZUNARI;OMOTE, SHUICHI |
| 分类号 |
H01L21/322;H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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