具有亚微米级间隙的高效电荷转移寄存器及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种具有亚微米级间隙的高效电荷转移单元及其制备工艺，该高效电荷转移寄存器由至少两个高效电荷转移单元串联而成，该高效电荷转移单元设计采用了四相结构，各相之间的间隙为亚微米级，这种亚微米级的间隙能保证电荷转移单元高效的进行电荷转移。本发明提高信号电荷的转移速度及转移效率，同时也降低了栅极的电压要求。

主权项

一种具有亚微米级间隙的高效电荷转移寄存器，其特征在于由至少两个具有亚微米级间隙的高效电荷转移单元串联而成，该高效电荷转移单元具有P型衬底与埋沟型N型沟道，在该N型沟道上镀上氧化膜，在该氧化膜上制作形成四个间隙宽度为亚微米级的栅极，各栅极依次为第一栅极、第二栅极、第三栅极和第四栅极，在各栅极上镀SiO2层，所有单元的第一栅极通过金属电极连接在一起，所有单元的第二栅极通过金属电极连接在一起，所有单元的第三栅极通过金属电极连接在一起，所有单元的第四栅极连通过金属电极接在一起；每个高效电荷转移单元的第一栅极、第二栅极、第三栅极和第四栅极各对应一相，即第一相、第二相、第三相、第四相，第一相、第二相、第三相、第四相起电荷转移的作用。