发明名称 |
刻蚀烘烤设备 |
摘要 |
本发明提供了一种刻蚀烘烤设备,该设备具有设备包括:反应腔,用于容纳需被清洁的石墨盘或外延衬底片;加热组件,加热组件构造在反应腔的外侧并能被操作提升反应腔内的温度;其中,刻蚀烘烤设备包括循环风冷系统,循环风冷系统包括:使气流循环运动的鼓风机;位于反应腔上方的顶部集气槽;位于反应腔下方的底部集气槽;连通在顶部集气槽和底部集气槽之间的风腔,风腔位于反应腔四周,引入风腔中的气流能够对加热组件进行冷却;以及换热器,换热器通过循环风道连接到底部集气槽的下游。采用本发明的刻蚀烘烤设备,反应腔体风道内相关的发热和受热部件可以被冷却,从而能够保证设备正常加热和使用。 |
申请公布号 |
CN103088413A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201310037819.0 |
申请日期 |
2013.01.29 |
申请人 |
杭州士兰明芯科技有限公司 |
发明人 |
周永君;徐小明;丁云鑫 |
分类号 |
C30B25/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
C30B25/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
浦易文 |
主权项 |
一种刻蚀烘烤设备(10),所述设备包括:反应腔(300),用于容纳需被清洁的石墨盘或外延衬底片;加热组件(400),所述加热组件(400)构造在反应腔(300)的外侧并能被操作提升反应腔(300)内的温度;其特征在于,所述刻蚀烘烤设备(10)包括循环风冷系统(200),所述循环风冷系统(200)包括:串接在所述循环风冷系统(200)中、使气流循环运动的鼓风机(210);位于反应腔(300)上方的顶部集气槽(220);位于反应腔(300)下方的底部集气槽(230);连通在所述顶部集气槽(220)和所述底部集气槽(230)之间的风腔,所述风腔位于所述反应腔(300)四周,引入风腔(240)中的气流能够对所述加热组件(400)进行冷却;以及换热器(250),所述换热器(250)通过循环风道连接到底部集气槽(230)的下游。 |
地址 |
310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区东区10号路300号 |