发明名称 半导体及微电子行业耐高温防滑夹具
摘要 本发明公开了半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,通过夹头与夹臂的安装组合方式,使用时施力于夹臂,用卡槽卡住所夹持晶片,有效防止夹持过程中晶片的掉落。本发明包含有第一夹臂、第二夹臂,第一夹臂另一端安装第一夹头,第二夹臂另一端安装第二夹头,第一夹头与第二夹头之间形成卡槽夹持部,通过作用第一夹臂、第二夹臂控制第一夹头、第二夹头的运动作用于样品。本发明根据使用温度的不用,夹臂和夹头可选择适当的耐高温材料制成,达到高温条件下取放晶片的目的。
申请公布号 CN103094172A 申请公布日期 2013.05.08
申请号 CN201210559378.6 申请日期 2012.12.21
申请人 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学 发明人 刘鹏;毕绿燕;赵红军;张国义;童玉珍;廉宗隅
分类号 H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 谭一兵;王东亮
主权项 一种半导体及微电子行业耐高温防滑夹具,其特征在于,包含有:第一夹臂(1)、第二夹臂(2),所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)之间相互连接形成连接端,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)之间互成夹角,所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)具有一定弹性形变性能,所述第一夹臂(1)另一端的自由端安装衔接有第一夹头(3),所述第二夹臂(2)另一端的自由端安装衔接有第二夹头(4),所述第一夹头(3)与所述第二夹头(4)之间形成卡槽夹持部,通过作用所述第一夹臂(1)、第二夹臂(2)控制所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的运动作用于样品;所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的形状为铲形,所述第一夹头(3)与所述第一夹臂(1)内侧形成一个向内的锐角,所述第二夹臂(2)与所述第二夹头(4)内侧形成一个向内侧的锐角;或所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的形状为勾形,所述第一夹头(3)与所述第一夹臂(1)内侧形成一个向内的95~150度钝角,所述第二夹臂(2)与所述第二夹头(4)内侧形成一个向内侧的95~150度钝角;或所述第一夹臂(1)与所述第二夹臂(2)的末端呈八字张开,所述第一夹臂(1)向外的末端使八字外侧形成一个100~170度钝角,所述第二夹臂(2)向外的末端使八字外侧形成一个100~170度钝角,所述第一夹臂(1)与所述第二夹臂(2)的末端部分别与所述第一夹头(3)和所述第二夹头(4)连接,所述第一夹头(3)、第二夹头(4)末端间距大于晶片(5)直径,所述第一夹臂(1)末端部与所述第一夹头(3)形成内向50~130度劣角的钩状卡槽,所述第二夹臂(2)末端部与所述第二夹头(4)形成内向50~130度劣角的钩状卡槽,所述第一夹头(3)、第二夹头(4)的卡槽向内,利用卡槽卡住晶片(5)。
地址 523518 广东省东莞市企石镇科技工业园