利用扣环的基板边缘调节

摘要

一种用于化学机械抛光机的载具头包括底座、基板安装表面、环形内环和环形外环。内环具有配置为圆周地环绕定位于基板安装表面上的基板的边缘的内表面、外表面和接触抛光垫的下表面。内环相对于基板安装表面而可垂直移动。外环具有圆周地环绕内环的内表面、外表面和接触抛光垫的下表面。外环相对于且独立于基板安装表面和内环而可垂直移动。内环的下表面具有第一宽度，且外环的下表面具有大于第一宽度的第二宽度。

主权项

一种用于化学机械抛光机的载具头，所述载具头包括：底座；基板安装表面；内环，所述内环具有：内表面，所述内表面配置为圆周地环绕定位于所述基板安装表面上的基板的边缘；外表面；和接触抛光垫的下表面，所述内环相对于所述基板安装表面而能垂直移动，所述内环的所述下表面具有第一宽度；以及外环，所述外环具有圆周地环绕所述内环的内表面、外表面和接触所述抛光垫的下表面，所述外环相对于于所述基板安装表面和所述内环且独立于所述基板安装表面和所述内环而能垂直移动，所述外环的所述下表面具有大于所述第一宽度的第二宽度。