| 发明名称 |
光栅 |
| 摘要 |
本发明提供一种光栅，该光栅包括一基底，该基底的一表面形成有多个凸棱，所述多个凸棱相互平行且间隔设置，相邻的两个凸棱之间形成一凹槽，所述每个凹槽的深宽比大于或等于6：1，凹槽的宽度范围为25纳米至150纳米。本发明提供的高密度、高深宽比的亚波长光栅，可以较好的衍射光波。 |
| 申请公布号 |
CN103091748A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
| 申请号 |
CN201110333562.4 |
申请日期 |
2011.10.28 |
| 申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
发明人 |
朱振东;李群庆;张立辉;陈墨 |
| 分类号 |
G02B5/18(2006.01)I |
主分类号 |
G02B5/18(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种光栅，该光栅包括一基底，该基底的一表面形成有多个凸棱，所述多个凸棱相互平行且间隔设置，相邻的两个凸棱之间形成一凹槽，所述多个凸棱之间形成多个凹槽，其特征在于，所述多个凹槽中的每个凹槽的深宽比大于或等于6：1，凹槽的宽度范围为25纳米至150纳米。 |
| 地址 |
100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |
