曝光装置的反射镜单元以及利用该单元的图像形成装置

摘要

本发明的目的在于提供一种曝光装置的反射镜单元，其能够避免在反射镜角度调节时的反射镜的扭曲旋转，并且不容易受到振动影响。通过将反射镜(64)以其长度方向相对于扫描光轴L0向反射镜宽度方向倾斜地配置，将反射镜(64)的一点支撑侧的支撑点A设定在反射镜(64)的宽度方向之后，将该支撑点A和两点支撑侧的支撑点B设定在扫描光轴L0上，从而能够将反光镜旋转轴0对准到扫描光轴L0上，并且能够将反射镜重心G设定在连接三个支撑点A、B、C的三角形区域内。其结果，能够避免反射镜角度调节时的反射镜(64)的扭曲旋转，并且能够避免因反射镜重心G的偏离而产生的振动影响。

主权项

一种曝光装置的反射镜单元，用于曝光装置中，其特征在于，该反射镜单元具有反射镜和保持该反射镜的反射镜基座部件，在扫描光轴方向上所配置的反射镜长度方向一端部的一点、和另一端部的反射镜宽度方向的两点具有支撑点，以连接上述一点支撑侧的支撑点和上述两点支撑侧的一个支撑点的线为反射镜旋转轴，将该两点支撑侧的另一个支撑点作为角度调节输入点，将反射镜可调节角度地三点支撑于反射镜基座部件上，将上述反射镜以其长度方向相对于上述扫描光轴向反射镜宽度方向倾斜地配置，将上述一点支撑侧的支撑点设定在反射镜的宽度方向中央，并将该一点支撑侧的支撑点和上述两点支撑侧的一个支撑点设定在上述扫描光轴上，由此上述反射镜旋转轴被设定在该扫描光轴上且反射镜重心被设定在连接上述三个支撑点而得到的三角形区域内。