感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷配线板的制造方法

摘要

本发明提供所形成的抗蚀图案的析像度、密合性及抗蚀剂形状优异的感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物含有：粘合剂聚合物，其具有来自（甲基）丙烯酸的结构单元、和来自从由（EO）改性二环戊烯基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性二环戊基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性异冰片基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性金刚烷基（甲基）丙烯酸酯及（EO）改性环己基（甲基）丙烯酸酯组成的组中选择的至少1种（甲基）丙烯酸酯的结构单元；光聚合性化合物；以及光聚合引发剂。

主权项

一种感光性树脂组合物，其含有：（A）粘合剂聚合物，其具有：来自（甲基）丙烯酸的结构单元、和来自从由（EO）改性二环戊烯基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性二环戊基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性异冰片基（甲基）丙烯酸酯、（EO）改性金刚烷基（甲基）丙烯酸酯及（EO）改性环己基（甲基）丙烯酸酯组成的组中选择的至少1种（甲基）丙烯酸酯的结构单元；（B）光聚合性化合物；以及（C）光聚合引发剂。