发明名称 |
物理量检测装置、物理量检测器及电子设备 |
摘要 |
本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备,其能够抑制应力向物理量检测元件被传递的情况。本发明所涉及的物理量检测装置(100)包括:基部(10);可动部(14),其通过连接部(12)而被基部(10)支承,并根据物理量的变化而发生位移;物理量检测元件(40),其跨接基部(10)和可动部(14);第一支承部(20),其从基部(10)起延伸,并具备第一固定部(24);第二支承部(30),其从基部(10)起延伸,并具备第二固定部(34),第一固定部(24)与第二固定部(34)之间的距离(L1)小于,第一支承部(20)与基部(10)的连接根部的部分(23)和第二支承部(30)与基部(10)的连接根部的部分(33)之间的距离(L2)。 |
申请公布号 |
CN103090887A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201210422835.7 |
申请日期 |
2012.10.29 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
渡边润;中仙道和之 |
分类号 |
G01D3/036(2006.01)I;G01C9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01D3/036(2006.01)I |
代理机构 |
北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 |
代理人 |
黄威;苏萌萌 |
主权项 |
一种物理量检测装置,包括:基部;可动部,其通过连接部而被所述基部支承,并根据物理量的变化而发生位移;物理量检测元件,其跨接所述基部和所述可动部;第一支承部,其从所述基部起延伸,并具备第一固定部;第二支承部,其从所述基部起延伸,并具备第二固定部,所述第一固定部与所述第二固定部之间的距离小于,所述第一支承部与所述基部的连接根部的部分和所述第二支承部与所述基部的连接根部的部分之间的距离。 |
地址 |
日本东京 |