基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统

摘要

基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，包括扫频激光器、靶镜和检测机构，总分光镜；检测机构包括X向检测机构和Y向检测机构；检测机构均包含子分光镜，反射镜，光电检测器和计数器，以及处理器；第一分光信号朝向靶镜、第二分光信号朝向反射镜；第一分光信号遇到靶镜后反射形成第一反射信号，第二分光信号遇到反射镜后反射形成第二反射信号，第一反射信号和第二反射信号在子分光镜处汇聚产生干涉信号。本发明具有测量过程中检测光路被阻断也不会影响测量结果，能测得绝对位移，仪器的标定和修正简单的优点。

主权项

基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，其特征在于：包括能发出频率连续变化的光波的扫频激光器、安装在机床的导轨上的靶镜和位于所述的扫频激光器与靶镜之间、获取被测物的误差的检测机构；所述的扫频激光器与所述的检测机构之间设有将来自扫频激光器的光信号分成X向光信号和Y向光信号的总分光镜；所述的检测机构包括获取X向光信号、检测X向误差的X向检测机构和获取Y向光信号、检测Y向误差的Y向检测机构；所述的靶镜由两面正交的反射镜组成，其中一面反射镜与X轴垂直；所述的X向检测机构和Y向检测机构均包含有接收光信号、并将其分为两束相互垂直的分光信号的子分光镜，将其中一束分光信号反射至所述的子分光镜处的反射镜，接受子分光镜处产生的干涉光信号、并将所述的干涉光信号转换为强弱相间的电信号的光电检测器，和与所述的光电检测器连接、识别该干涉光信号的周期及其周期个数的计数器，以及与所述计数器连接、将周期个数转换为被测物的圆轨迹误差的处理器；第一分光信号朝向所述的靶镜、第二分光信号朝向所述的反射镜；所述的第一分光信号遇到靶镜后反射形成第一反射信号，所述的第二分光信号遇到所述的反射镜后反射形成第二反射信号，所述的第一反射信号和第二反射信号在所述的子分光镜处汇聚产生所述的干 涉光信号。