发明名称 | 磁阻元件结构形成方法 | ||
摘要 | 本发明提出一种磁阻元件结构形成方法,包含:提供基板;于该基板上方形成金属镶嵌结构,再于该金属镶嵌结构上方形成图形化磁阻单元,与该金属镶嵌结构完成电性连接。本发明所述之磁阻元件结构形成方法,不但可将集成电路与磁阻材料整合在一起,达到体积极小化,且可将对准之标记与制程巧妙结合,节省光罩的层数。 | ||
申请公布号 | CN103094470A | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
申请号 | CN201210431518.1 | 申请日期 | 2012.11.01 |
申请人 | 宇能电科技股份有限公司 | 发明人 | 刘富台;李乾铭;梁志坚;傅乃中 |
分类号 | H01L43/12(2006.01)I;H01L27/22(2006.01)I | 主分类号 | H01L43/12(2006.01)I |
代理机构 | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人 | 史霞 |
主权项 | 一种磁阻元件结构形成方法,其特征在于,包括下列步骤:提供基板;于该基板上方形成金属镶嵌结构,再于该金属镶嵌结构上方形成图形化磁阻单元,与该金属镶嵌结构完成电性连接。 | ||
地址 | 中国台湾新竹县竹北市台元一街一号六楼之一 |