用于航天器部组件常温真空检漏的检漏系统

摘要

本发明公开一种常温真空检漏系统，该真空检漏系统通过选择螺杆干泵作为前级抽气泵，在高真空主泵与高真空阀门之间增加高真空检漏阀门，并在标准漏孔和真空容器之间设置标准漏孔抽气阀门、标准漏孔检漏阀门和标准漏孔抽气泵，并将这些用于检漏的阀门通过供电电缆与具备手动控制和自动控制的控制单元连接，实现检漏系统的自动校准。

主权项

一种用于航天部组件常温真空检漏的检漏系统，包括圆柱形的真空容器(1)、高真空阀门(8)、高真空检漏阀门(14)、高真空泵(9)、前级抽气阀门(10)、前级抽气泵(11)、前级检漏阀门(12)、氦质谱检漏仪(13)、标准漏孔(5)、标准漏孔检漏阀门(2)、标准漏孔抽气泵(7)、标准漏孔抽气阀门(6)和控制单元(17)，其特征在于，真空容器(1)的筒壁上分别连接有高真空阀门(8)和标准漏孔检漏阀门(2)，高真空阀门(8)的另一端连接有高真空泵(9)，前级抽气泵(11)通过前级抽气阀门(10)与高真空泵(9)连接，在高真空阀门(8)和高真空泵(9)之间、高真空泵(9)与前级抽气阀门(10)之间的抽气管道上分别通过高真空检漏阀门(14)、前级检漏阀门(12)与氦质谱检漏仪(13)连接；标准漏孔检漏阀门(2)的另一端与标准漏孔(5)之间设置四通真空接口(4)，四通真空接口(4)的四接口分别连接标准漏孔检漏阀门(2)、标准漏孔抽气阀门(6)、标准漏孔(5)和标准漏孔放气阀门(3)，标准漏孔抽气泵(7)通过标准漏孔抽气阀门(6)与四通真空接口(4)连接，标准漏孔放气阀门(3)的另一端连接环境大气，其中，高真空阀门(8)、高真空检漏阀门(14)、高真空泵(9)、前级检漏阀门(12)、前级抽气阀门(10)、前级抽气泵(11)、标准漏孔检漏阀门(2)、标准漏孔抽气泵(7)、标准漏孔抽气检漏阀门(6)通过供电电缆(15)与控制单元(17)连接，氦质谱检漏仪通过供电电缆(15)和测试电缆(16)与控制单元连接。