一体型涡轮分子泵

摘要

本发明是有关于一种一体型涡轮分子泵，可一面防止灰尘等侵入至控制单元内，一面可以通过送风风扇来有效地对电子零件进行冷却。泵单元包括设置有马达的马达定子的泵基座，控制单元包括盒体(基座板及外壳)，该盒体是以与设置有马达定子的泵基座之间形成间隙区域的方式，固定于泵基座的底面。安装有电子零件的基板固定于与间隙区域相向的盒体壁部，即基座板的内周面。接着，利用风扇来将冷却风输送至间隙区域，藉此，电子零件所产生的热有效地从与间隙区域相向的基座板的部分散发至盒体外。

主权项

一种一体型涡轮分子泵，其为电源一体型涡轮分子泵，所述电源一体型涡轮分子泵包括：泵单元，藉由马达来使形成有旋转翼的转子旋转，从而进行真空排气；以及控制单元，固定于所述泵单元，对所述泵单元进行驱动控制，所述一体型涡轮分子泵的特征在于：所述泵单元包括设置有马达定子的泵基座，所述控制单元包括：盒体，以与所述泵基座之间形成间隙区域的方式，固定于所述泵基座的底面；以及电子零件，收纳于所述盒体，并且固定于与所述间隙区域相向的盒体壁部的内周面，且包括送风风扇，将冷却风输送至所述间隙区域的。