发明名称 |
硅锭制造用容器及硅锭的制造方法 |
摘要 |
提供一种能够容易地将培养成的硅锭从容器取出、并且能够实现硅锭的成品率的提高的硅锭制造用容器及硅锭的制造方法。在用来使硅熔融液凝固而使硅多结晶生长的上表面开口的有底筒状的硅锭制造用容器中,将该容器的侧壁通过铅直形成的侧面下部、在该侧面下部上相对于铅直方向以规定的锥角θ朝向上表面开口部扩展而倾斜地连接设置的侧面中部、和在该侧面中部上铅直地连接设置的侧面上部构成。将硅原料投入到该硅锭制造用容器中以使硅熔融液的表面位于倾斜部,通过凯罗泡洛斯法一边以极低速将晶种拉起一边使硅多结晶生长。 |
申请公布号 |
CN103097291A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201180044508.6 |
申请日期 |
2011.09.16 |
申请人 |
吉坤日矿日石金属株式会社 |
发明人 |
吉泽彰;清水孝幸;朝日聪明 |
分类号 |
C01B33/02(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/02(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
朱美红;杨楷 |
主权项 |
一种硅锭制造用容器,是用来使硅熔融液凝固而使硅多结晶生长的上表面开口的有底筒状的硅锭制造用容器,其特征在于,该容器的侧壁由铅直形成的侧面下部、在该侧面下部上相对于铅直方向以规定的锥角θ朝向上表面开口部扩展而倾斜地连接设置的侧面中部、和在该侧面中部上铅直地连接设置的侧面上部构成。 |
地址 |
日本东京都 |