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发明名称
摘要
申请公布号 JP5193161(B2) 申请公布日期 2013.05.08
申请号 JP20090256955 申请日期 2009.11.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L29/417;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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