照明用光源及使用其的图案检查装置

摘要

本发明提供在拍摄的区域的任意点上光的入射的条件相同的照明单元、及可进行凹坑的优劣判定的图案检查装置。将多个LED(2)排列在LED支撑构件(3)上，照明光从LED(2)以平行的状态射出，以规定的入射角度θ入射于摄像区域(R)地构成各面光源(a～h)。排列LED(2)的区域的大小比摄像区域(R)的大小大。由8个面光源(a～h)，照明光以平行状态射出，以规定角度θ入射在摄像区域(R)的全体。因此，在摄像区域(R)的BAC上的任意点上，相同角度的照明光以相同照射强度从全方向入射，无论在摄像区域的哪一点上，其条件都成为相同。所以，在进行检查的全部区域，根据凹坑的光亮(辉度)的不同可判定优劣。

主权项

一种照明用光源，其特征在于：向被照射区域照射平行光的面光源，在同一平面上环状地配置多个，各面光源的大小为，被照射于被照明区域面上的来自各面光源的光的照射区域包含被照明区域全体的大小。