一种高透过率光子筛

摘要

本发明公开了一种高透过率光子筛，包括：不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上设置有多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，方形微孔的边长为其所在圆环环带宽度的0.5倍～2.0倍。因为聚焦光斑尺寸相同时，方孔光子筛比普通圆孔光子筛的面积要大，所以在工作光的光强一定，形成相同的聚焦光斑的时候，方孔光子筛可以透过更多的光，提高光的透过率，从而进而提高了聚焦光斑处光的强度，提升了光刻效果。

主权项

一种高透过率光子筛，其特征在于，包括：不透光金属薄膜，所述金属薄膜上设置有多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，第m个圆环的半径rm和环带宽度wm满足关系式：rm2＝2mfλ+m2λ2，wm＝rm‑rm‑1，m＝1、2、3...所述λ是入射光波长，所述f是光子筛焦距；并且分布在第m个圆环的方形微孔的边长am满足关系式：am＝0.5wm～2.0wm。