将衬底装载到衬底台上的方法、器件制造方法和设备

摘要

本发明涉及一种在光刻设备中将第一物体装载到第二物体上的方法。所述方法包括动作：a)将第一物体装载到第二物体上，b)等待一段时间，和c)执行弛豫动作。第一物体可以是衬底，第二物体可以是衬底台。第一物体也可以是衬底台，第二物体是支撑衬底台的支撑结构。

主权项

一种在光刻过程中将第一物体装载到第二物体上的方法，所述方法包括：a）将所述第一物体装载到所述第二物体上，b）等待一段时间，c）在等待一段时间之后，其中时间的量选择成以便在第一物体和第二物体实现所需的温度平衡，通过执行弛豫动作减小第一物体和第二物体之间的摩擦力，用于消除由于彼此接触由包括所述第一物体和所述第二物体的组的至少一个构件经历的机械应力和热应力，其中弛豫动作包括将所述第一物体从所述第二物体举起，或将所述第一物体从所述第二物体举起并振动所述第二物体，或振动第二物体。