一种ITO靶材的制备方法

摘要

一种ITO靶材的制备方法，其特征是：采用透射电镜下观察粒度在10—100纳米的氧化锡粉末和微米级氧化铟粉末，质量比为1∶9；采用湿法混合的方法将氧化锡粉末和氧化铟粉末混合均匀成ITO粉末，溶剂选择水、无水乙醇、丙酮或异丙醇；将ITO粉末放入球磨罐中，加入钢芯尼龙球，再加入溶剂，球磨24小时，吹干溶剂，过60目筛，在钢模具中以50MPa压强干压成型，再在280MPa下进行冷等静压，保压10分钟，然后在烧结炉中纯氧气气氛下1200-1600℃温度下进行烧结，保温2-3小时。本发明通过引入无团聚的粒度分布窄的纳米氧化锡，在不降低靶材密度的前提下，降低了ITO靶材的烧结温度，进而减小靶材的晶粒度，进而减少靶材的中毒；同时可以使用比较廉价的承烧板或者能够烧制更大的靶材。

主权项

一种ITO靶材的制备方法，其特征是：采用透射电镜下观察粒度为10‑‑100纳米的氧化锡粉末和微米级氧化铟粉末，质量比为1:9；采用湿法混合的方法将透射电镜下观察粒度为10‑‑100纳米的氧化锡粉末和微米级氧化铟粉末混合均匀成ITO粉末，溶剂选择水、无水乙醇、丙酮或异丙醇；将ITO粉末放入球磨罐中，加入钢芯尼龙球，再加入溶剂，球磨24小时，吹干溶剂，过60目筛，在钢模具中以50MPa压强干压成型，再在280MPa下进行冷等静压，然后在烧结炉中纯氧气气氛下1400℃温度下进行烧结，保温2‑‑3小时，获得密度为7.139g/cm3，在电子显微镜下几乎找不到气孔，晶粒度为2微米的ITO靶材。