扫描器装置及物体的三维形状测定装置

摘要

使激光束(L50)被光束扫射装置(60)反射，并照射至全息图记录介质(45)。在全息图记录介质(45)中，使用会聚于扫射基点(B)的参照光将线状散射体的像(35)记录为全息图。光束扫射装置(60)使激光束(L50)在扫射基点(B)弯折后照射至全息图记录介质(45)。此时，使激光束的弯折状态随时间变化，以使弯折后的激光束(L60)对全息图记录介质(45)的照射位置随时间变化。来自全息图记录介质(45)的衍射光(L45)在载台(210)的受光面(R)上生成线状散射体的再现像(35)。将物体载置于受光面(R)后，通过全息图再现光投影线状图案，因此拍摄其投影像，以进行物体的三维形状测定。

主权项

一种扫描器装置，用光的线状图案(U)扫射物体(M)并取得所述物体(M)的表面信息，其特征在于，具备：照明单元(100、110)，对所述物体(M)投影光的线状图案(U)；图案扫射机构(200)，使所述线状图案(U)对所述物体(M)的投影位置随时间变化；以及拍摄单元(300、301～303)，从规定方向拍摄投影有所述线状图案(U)的所述物体(M)，并取得所述物体(M)的表面信息，所述照明单元(100、110)具有：相干光源(50)，产生相干光束(L50)；全息图记录介质(45、46、85)，记录有具有与所述线状图案(U)对应的形状的散射体(30)的像(35)；以及光束扫射装置(60、65)，将所述光束(L60、L65)照射至所述全息图记录介质(45、46、85)，且以所述光束(L60、L65)对所述全息图记录介质(45、46、85)的照射位置随时间变化的方式进行扫射，在所述全息图记录介质(45、46、85)中，使用沿指定光路照射的参照光(L23、Lref)，记录有所述散射体(30)的像作为全息图，所述相干光源(50)产生具有能再现所述散射体的像(35)的波长的光束(L50)，所述光束扫射装置(60、65)以使所述光束(L60、L65)对所述全息图记录介质(45、46、85)的照射方向为沿所述参照光(L23、Lref)的光路的方向的方式，进行所述光束(L60、L65)的扫射，通过从所述全息图记录介质(45、46、85)获得的全息图的再现光来投影所述线状图案(U)。