压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法

摘要

本公开涉及压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法。一种使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料的压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具，其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。

主权项

一种压印装置，所述压印装置使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料，所述压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具；其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。