精密气体流量自动控制装置

摘要

本实用新型公开了一种精密气体流量自动控制装置，包括与气源连通的管道，所述管道上自气源始依次设置有手动控制阀、自动控制阀以及流量传感器，所述流量传感器的信号端连接控制模块，控制模块的输出端通过舵机连接齿轮组，所述齿轮组的输出轴连接自动控制阀。本实用新型结构简单、成本低廉，采用单片机作为微控制器，对小流量气体进行实时监测与控制，具有控制精度高、实时性好、反应速度快的优点，特别适用于小流量气体的测量与控制。

主权项

精密气体流量自动控制装置，包括与气源(1)连通的管道，其特征在于：所述管道上自气源(1)始依次设置有手动控制阀(2)、自动控制阀(3)以及流量传感器(4)，所述流量传感器的信号端连接控制模块(5)，控制模块(5)的输出端通过舵机(6)连接齿轮组(7)，所述齿轮组的输出轴连接自动控制阀(3)。