一种基于受抑全反射的准分子激光功率振荡器谐振腔

摘要

本发明公开了一种准分子激光功率振荡器谐振腔，包括45°底角的等腰梯形棱镜、压电陶瓷、第一等腰直角棱镜、第二等腰直角棱镜、放大腔，第一、第二等腰直角棱镜斜面朝向放大腔，等腰梯形棱镜底边与第一等腰直角棱镜直角边平行紧靠放置，压电陶瓷的位移量由精密位移控制器的输出电压控制，可以实现纳米级的调节。在压电陶瓷的作用下等腰梯形棱镜底边与第一等腰直角棱镜直角边之间的空气厚度d可调，空气d决定了入射光与出射光的耦合率。该谐振腔结构耦合率的变化不需要更换耦合镜，腔长短，能够有效提取放大器能量。

主权项

一种准分子激光功率振荡器谐振腔，其特征在于，它包括等腰梯形棱镜(5)、第一等腰直角棱镜(6)、压电陶瓷(7)、放大腔(8)和第二等腰直角棱镜(9)；第一等腰直角棱镜(6)、第二等腰直角棱镜(9)斜面朝向放大腔(8)，等腰梯形棱镜(5)底边与第一等腰直角棱镜(6)直角边平行放置压电陶瓷(7)安装在等腰梯形棱镜(5)的顶边上；在压电陶瓷(7)的作用下，等腰梯形棱镜(5)底边与第一等腰直角棱镜(6)直角边之间的距离即空气厚度d可调。