发明名称 一种多夹头晶片夹具
摘要 本发明公开了一种多夹头晶片夹具,通过施力于夹臂控制夹头,减小各夹头之间距使其合拢并接触晶片的侧边缘,来完成夹片操作。本发明包含有四个及以上夹头,夹头安装在夹臂末端,在其一个及以上夹臂末端上可安装多个夹头,形成多夹头夹具,部分夹臂相对固定,其余夹臂可定向移动带动夹头靠拢、接触晶片侧边缘实施夹取操作,夹臂之间形成有夹角。本发明的多夹头夹具,仅需其中三个夹头作用在晶片上,便能达到夹具的作用,从而降低对夹头的控制精确度的要求及夹持晶片的操控难度,提高安全性。
申请公布号 CN103094173A 申请公布日期 2013.05.08
申请号 CN201210559394.5 申请日期 2012.12.21
申请人 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学 发明人 刘鹏;毕绿燕;赵红军;张国义;童玉珍;廉宗隅
分类号 H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 谭一兵;王东亮
主权项 一种多夹头晶片夹具,包含有:四个及以上夹头,其特征在于,所述夹头安装在夹臂末端,在其中一个及以上夹臂末端上安装两个及以上夹头,形成多夹头夹具,所述夹臂的数量两个及以上;所述夹臂中,部分夹臂相对固定,其余夹臂可定向移动带动夹头靠拢、接触晶片侧边缘实施夹取操作;所述夹臂相互连接,所述夹臂相互连接处置于夹臂首端或夹臂中段或远离夹臂末端;所述夹臂之间形成有夹角;所述夹臂的运动属性为:其中一条夹臂具有一定运动弹性及受力变位功能,其余夹臂相对固定不动;或其中两条夹臂具有一定运动弹性及受力变位功能,其余夹臂相对固定不动;或所有夹臂均具有一定运动弹性及受力变位功能;所述夹头与夹臂末端的安装方式,包括一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹安装方式。
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