双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器

摘要

本实用新型提供了一种双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器。所述双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内。本实用新型的优点在于，通过在悬臂梁上设置加热器，并通过对每个微悬臂梁单独提供不同的加热温度，对微悬臂梁之间的响应率和灵敏度的非均匀性加以校正。

主权项

一种双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，其特征在于，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内，用于加热所述悬臂梁主体以及所述第一应力凸块，所述加热器进一步设置至少两引脚，所述引脚用于同外界形成电学连接。