发明名称 Method for dicing semiconductor wafers
摘要
申请公布号 GB989587(A) 申请公布日期 1965.04.22
申请号 GB19630031203 申请日期 1963.08.07
申请人 INTERNATIONAL RECTIFIER CORPORATION 发明人
分类号 C23F1/02;H01L21/308 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
地址