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<p>압전 방식 잉크젯 헤드와 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 헤드는 서로 접합되는 세 개의 단결정 실리콘 기판을 구비한다. 상부 기판에는 잉크 인렛과, 다수의 압력 챔버와, 압전 액츄에이터가 형성되고, 중간 기판에는 매니폴드와, 다수의 리스트릭터와, 다수의 제1 댐퍼가 형성되며, 하부 기판에는 다수의 노즐이 형성된다. 그리고, 중간 기판에는, 매니폴드의 하부에 위치하여 매니폴드 내부의 압력 변화를 완화시키는 것으로, 중간 기판과는 다른 물질로 이루어진 멤브레인이 마련된다. 중간 기판 또는 하부 기판에는, 멤브레인의 하부에 위치하는 캐비티와, 캐비티를 외부와 연통시키는 적어도 하나의 벤팅 채널이 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 매니폴드의 하부에 형성되며 유연성을 가진 멤브레인이 잉크의 역류로 인한 매니폴드 내부의 급격한 압력 변화를 완화시키게 되고, 이에 따라 잉크 토출 시 인접한 압력 챔버들 상호간의 크로스 토크를 효과적으로 방지할 수 있게 된다.</p> |
