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<p>(과제) 금속 유기 화합물을 사용한 박막 제조 공정으로부터 얻어지는 금속 산화물막의 제조법에 있어서, 금속 산화물 나노 입자 용액 및 금속 산화물 나노 입자를 함유하는 금속 유기 화합물 용액을 사용하여 가열, 자외선 조사나 플라즈마를 조사함으로써, 유기 재료 기판이나 유리 기판에, YO： Eu 나 CaTiO： Pr 등의 형광체 박막을 효율적으로 직접 제조하는 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. (해결 수단) 화학 용액법을 사용하여 금속 산화물 박막을 제조하는 방법에서, 지지체에 미리 금속 산화물 나노 입자 용액을 도포한 후, 소성 또는 레이저 조사로 금속 산화물 박막을 형성하고, 그리고 이 금속 산화물 박막 상에, 금속을 함유하는 전구체 용액을 도포하고, 이것을 (1) 가열 처리 공정, (2) 플라즈마 조사 공정, (3) 자외선 조사 공정 중 적어도 1 개 또는 복수의 공정을 동시에 사용함으로써, 금속 및 금속 산화물 이외의 물질을 제거하여 금속 함유 금속 산화물 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 박막의 제조 방법.</p> |
