| 摘要 |
<p>본 발명은 순환기체를 사용한 1차냉각장치(1)의 증발기(14)를 열전소자(3)의 방열면에 밀착시켜 열전소자(3)를 냉각시키고, 2차냉각장치(2)의 작동액체가 통과하는 열교환기(21)를 정지액체가 저장된 냉각블록(4) 내부에 수장하여 냉각대상물(S)을 직접 냉각시키는 작동액체가 증발기(14)에서 미리 냉각된 열전소자(3)에 의해 저온상태로 냉각되도록 함으로써 냉각효율을 높일 수 있도록 하는 냉각장치에 관한 것으로, 여기서, 1차냉각장치(1)의 구성요소는 제1유로파이프(10), 압축기(11), 응축기(12), 팽창밸브(13), 증발기(14), 및 후술하는 건조기(15)가 되고, 2차냉각장치(2)의 구성요소는 제2유로파이프(20), 열교환기(21), 펌프(22), 및 후술하는 충전탱크(24)가 된다.</p> |
