| 摘要 |
<p>화학 기계적 연마 장치용 리테이너 링이 개시된다. 일면에 상기 화학 기계적 연마 장치와 결합하는 결합부가 형성되는 제1 링; 일면이 상기 제1 링의 타면에 결합하며, 타면에 연마시 슬러리가 통과하는 통과홈이 형성되는 제2 링을 포함하되, 상기 제1 링의 타면은 상기 제1 링의 연장 방향을 따라 복수의 돌출부가 형성되며 상기 돌출부의 모서리는 모따기 처리가 되고, 상기 제2 링의 일면은 상기 제1 링의 돌출부의 형상에 상응하는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마 장치용 리테이너 링은 서로 다른 링의 견고한 결합 구조를 제시하여 안정적으로 연마 동작을 수행할 수 있는 효과가 있다.</p> |
