发明名称 |
Tunable contact angle process for immersionlithography topcoats and photoresists |
摘要 |
A process for tuning the water contact angle of an immersion photoresist layer or immersion topcoat layer by modification of the top surface. The surface modification is a layer of fluorinated polymer. |
申请公布号 |
US8435719(B2) |
申请公布日期 |
2013.05.07 |
申请号 |
US20060500663 |
申请日期 |
2006.08.08 |
申请人 |
GOLDFARB DARIO LEONARDO;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
GOLDFARB DARIO LEONARDO |
分类号 |
G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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