METHOD OF MANUFACTURING A PLASMA DISPLAY PANEL FILTER AND DC SPUTTERING DEVICE EMPLOYED IN THE SAME
摘要
<p>본 발명은 TiO타겟을 사용하는 PDP 필터 제조 방법에 사용되며, 요부가 형성된 쉴드를 포함하는 직류 스퍼터링 장치에 관한 것이다. 상기 스퍼터링 장치는 기판을 고정하는 기판 홀더, 상기 기판과 대향하는 위치에 배열되는 특정 타겟을 지지하는 배면판, 및 상기 타겟의 외측에 배열되는 적어도 하나의 쉴드를 포함한다. 여기서, 상기 쉴드의 일부분에는 상기 쉴드의 부도체화를 방지하기 위한 적어도 하나의 요부가 형성된다.</p>
