| 摘要 |
<p>챔버형 기판 코팅장치를 제공한다. 본 발명은 기판의 표면에 코팅액을 일정두께로 균일하게 코팅하는 장치에 있어서, 상기 기판을 일방향으로 이동시키는 이동부를 구비하고, 상기 기판이 투입되는 투입구와 배출되는 배출구를 형성하고, 내부공간으로 무화된 코팅액을 분사하는 적어도 하나의 노즐을 갖는 미스트챔버를 상기 이동부의 기판 이동경로 상에 구비하는 본체부; 상기 노즐과 미스트공급라인을 매개로 연결되고, 일정량의 코팅액이 채워지는 반응챔버를 구비하고, 상기 반응챔버의 내부에 코팅액을 무화시키는 초음파 진동자를 갖추어 상기 초음파 진동자에 의해서 코팅액을 무화시키는 미스트발생부 ; 상기 반응챔버와 코팅액공급라인을 매개로 연결되어 코팅액을 공급하는 코팅액공급부 ; 상기 반응챔버와 에어공급라인을 매개로 연결되어 에어를 공급하는 에어공급부 ; 및 상기 미스트챔버를 통과한 기판과 코팅층에 열을 제공하도록 상기 배출구 근방에 적어도 하나의 히터부재를 구비하여 상기 기판의 상부면에 무화된 코팅액이 낙하되어 형성된 코팅층을 건조하는 건조부를 포함한다.</p> |
