| 摘要 |
<p>발광 다이오드 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 발광 다이오드 제조방법은 기판을 준비하는 단계, 기판상에 하부 반도체층, 활성층 및 상부 반도체층을 형성하는 단계, 상부 반도체층 상에 그 측벽이 기판 상부면에 대해 경사지도록 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 포토레지스트 패턴을 식각마스크로 사용하여 상부 반도체층, 활성층 및 하부 반도체층을 차례로 식각하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 발광된 빛이 측면에서 보다 쉽게 외부로 방출되어 발광소자의 발광효율이 높아진다.</p> |
