| 摘要 |
<p>본 발명은 클러스터 방식의 반도체 제조장비에서 피 가공물의 반송 및 소정의 프로세서에 따른 다단계 처리공정을 위한 챔버들 각기의 진공상태 유지와 해제또는 피 가공물의 반입/반출을 위해 챔버들의 개폐를 선택적으로 제어하는 일방 또는 양 방향 게이트 밸브를 제공함에 의해 달성되게 되는데, 이 게이트 밸브는 상기 반송/공정 챔버들과 연결되는 밸브시트가 구비되는 밸브 하우징 및 밸브의 하우징 내에서 별도의 액추에이터에 의해 승강하는 블록형의 기저요소를 절삭가공하여 이룬 실린더 내에서 공압방식으로 구동하는 피스톤의 전.후진 작용으로 밸브시트와 접촉.이탈하는 것으로 챔버의 개폐를 이루게 하는 밸브판이 구비되는 밸브유닛을 갖추어서, 게이트 밸브의 구조를 블록화하여 구조의 혁신으로 생산성 향상과 수율을 높이게 된다.</p> |
